金相工具显微镜

金相工具显微镜

详细信息:

采用最新SOBEKK公司研发的Z轴自动测量系统,完全解决了以往工具显微镜Z轴测量精度不准的缺陷,测量模式是通过Z轴自动对焦系统利用光学影像系统配备最先进的光纤高清相机,重复精度可以达到1.5UM是目前国内光学测量显微镜Z轴测量的最高精度.

u MM-300/400/工具金像显微镜Z轴的配备自动对焦系统,大幅度降低人员操作复杂性,让人机工学做得更加完美,是全球目前领先的工具金像显微镜

新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备SOPTOP公司最新的MX无限远色差校正光学镜头,可进行明场/暗场/偏光/DIC观察. 或配备NIKON公司最新的CFI60无穷远 高解析力光学镜头在高倍的观察下,可使工件的解析度增加,标准高倍率之工作距离也可至 1mm 。可选择使用不同功能之旋转鼻轮,五孔鼻轮可用于明视野观察,明暗视野观察或明暗视野加DIC 可供客户需要选择.

灯源采用了目前国际先进的LED做照明光源,最大限度降低因以往采用卤素灯泡发热而造成的热胀误差.

新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备集成的MM控制器接口的支架和新研发的DP-E1数据处理器或SC计数器以及基于个人计算机的SBK-MAX数据处理软件能够提供出色的几何数据处理和存储能力.

新型的MM-300 ,MM-400工具金像显微镜配备了进行粗调和微调的电子手轮裝置,可使仪器到半自动化,提升量測精度,使量測的数据达到高精度标准。

运用范围:精密模具测量,微电子观察测量,TFT 液晶检查分析测量,4寸 5寸 6寸8寸12寸 半导体晶圆检查测量。

MM-300 ,MM-400工具金像显微镜技术参数:

型号

MM-300/MM-400

移动范围

300mm*200mm*100mm/400mm*300mm*100mm

最小显示值

0.0005mm

X、Y轴移动方式

手动位移

Z轴升降方式

自动对焦升降(Panasonic 伺服电机)、最小位移量:0.0001mm

主 机

照明系统

冷光源照明、10W LED透射照明

转换器

五孔物镜转盘(带DIC插槽)

数据处理器

DP-10

光学镜筒

三目光学镜筒

目 镜

WF10X/22

明 场 物 镜

LWDPLAN  5X:  数值孔径(N.A) 0.14, 平场长工作距离光学物镜:10.8mm

LWDPLAN 10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 平场长工作距离光学物镜:10.0mm

LWDPLAN 20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 平场长工作距光学物镜:4.0mm

光学系统

CSIC 无限远校正光学系统

CCD

HDMI接口高清数码相机

测量软件

SBK-MM

工作台承重

35KG

仪器外形尺寸

900X700X980mm/1000*800*980mm

选购件

50X、100X物镜、暗场物镜、偏光、DIC模块(微分干涉装置)