点光谱系统是单点非接触式 3D 测量模块,集成在 COBEKK 视觉测量设备上。普通光学相机只能获取二维图像,透明 / 半透明工件、高反光件容易产生成像虚影,无法做高精度微米级高度测量。
点光谱依靠光谱干涉原理,单点采集纳米级高度数据,不受反光、透明材质干扰,弥补普通光学视觉在高反光、透明件微小高度测量的缺陷。
适用产品 & 场景:半导体芯片、玻璃、薄膜、晶圆、PCB 线路微小凸起 / 凹陷,检测微米级台阶、膜厚、微小颗粒高度。